我国造出4英寸氮化硼晶圆
2026-10-14 09:28:23
北京大学、中科院物理研究所、松山湖材料实验室等单位合作，提出台阶模板界面外延策略，实现了4英寸单晶菱方氮化硼（rBN）晶圆的批量制备，并做出高性能滑移铁电场效应晶体管及其晶圆级阵列。这种器件具有纳秒级极化翻转、超过20亿次抗疲劳特性，以及外推长达10年的非易失存储能力；即使在30纳米超短沟道下仍保持4V大存储窗口。菱方氮化硼一直因热力学上不占优势而难以批量制备，此次突破为二维铁电器件的规模化制造提供了新平台。成果发表在《自然·纳米技术》。
电量就是力气
上海市材料工程学校
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